MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一门涉及机械、电子和计算机科学的交叉学科。以下是一些提供MEMS相关专业的大学及其专业设置：
本科专业
机械工程：通常包含MEMS的基础内容。
电子工程：提供MEMS所需的电子知识。
材料科学与工程：MEMS制造中使用的材料相关知识。
计算机科学：在MEMS设计、模拟和控制系统中应用。
研究生专业
微电子学与固体电子学：专注于MEMS中的微电子器件。
机械电子工程：结合机械和电子工程，专注于MEMS的设计和制造。
微机电系统工程：专注于MEMS系统的设计与应用。
智能感知工程、 智能测控工程、 海洋信息工程、 柔性电子学：这些新兴专业通常也包含MEMS的相关内容。
排名情况（部分）
清华大学：在MEMS研究生专业中排名靠前。
哈尔滨工业大学、 上海交通大学、 华中科技大学、 北京理工大学、 天津大学、 大连理工大学、 浙江大学、 西安交通大学、 北京航空航天大学：这些也是中国MEMS专业排名靠前的大学。
合作项目
麦克马斯特大学与 莫哈克学院合作提供理科学士项目，其中包括 汽车与交通工具技术专业和 生物科技专业，这些专业可能涉及MEMS技术。
其他信息
美国在MEMS研究生专业教育方面处于全球领先地位，拥有如普林斯顿大学、哈佛大学等顶尖学府。
以上信息提供了关于MEMS专业的概览，具体课程设置和排名情况可能因学校而异，建议直接咨询感兴趣的学校获取最新信息