国内提供MEMS（微机电系统）专业的大学众多，以下是一些在该领域具有较强实力和影响力的大学：
清华大学
微电子学研究所微纳器件与系统研究室。
微米/纳米技术研究中心和电子封装技术研究中心。
北京大学
信息科学技术学院微电子学研究所。
软件与微电子学院。
新成立的集成电路学院。
上海交通大学
微纳科学技术研究院。
华中科技大学
微系统研究中心。
北京理工大学
微电子机械系统教育部重点实验室。
MEMS惯性技术研究中心。
东南大学
微电子机械系统教育部重点实验室。
西北工业大学
微纳米系统实验室。
复旦大学
专用集成电路与系统国家重点实验室。
南京大学
微电子与光电子学系。
浙江大学
微纳技术与器件系。
西安交通大学
微纳技术与光子器件实验室。
哈尔滨工业大学
微纳技术研究中心。
天津大学
微电子与固体电子学系。
大连理工大学
微电子与固体电子学系。
北京航空航天大学
微电子与固体电子学院。
中国科学院大学
微电子学院（原半导体所）。
四川大学
MEMS团队在多个会议中表现优异。
这些大学在MEMS领域的研究和教学方面都有显著的成果和影响力，涵盖了从基础研究到工程应用的各个方面。建议在选择学校时，可以根据自己的兴趣和职业规划，综合考虑学校的师资力量、研究设施、实验室条件以及产学研结合的情况。