微机电系统工程专业是一门综合了机械工程、电子工程、材料科学等多个学科领域的交叉学科。以下是一些开设微机电系统工程的大学：
北京航空航天大学- 位于北京，以航空、航天、航海等领域人才培养和科学研究为特色。
东莞理工学院- 位于广东，提供微机电系统工程专业教育。
西北工业大学- 位于陕西，是“双一流”建设高校，隶属于工业和信息化部。
东南大学- 拥有微电子机械系统教育部重点实验室。
南京理工大学- 有MEMS惯性技术研究中心。
华中科技大学- 微系统研究中心。
厦门大学- 萨本栋微纳米技术研究中心。
北京大学- 微电子研究院微机电系统研究所。
清华大学- 微电子学研究所微纳器件与系统研究室。
上海交通大学- 微纳科学技术研究院。
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