截至2024年，光刻胶专业大学排名榜如下：
清华大学
清华大学在光刻机工件台方面表现出色，并且拥有强大的科研能力。
北京大学
北大清华微电子系在光刻技术方面也有较高的声誉与水平。
华中科技大学
华中科技大学拥有光电类最强的实验室，如国家光电实验室，并在光刻技术方面取得了显著成就，如合成光刻胶的研发。
上海交通大学
上海交通大学在光刻技术领域也有一定的研究和贡献。
复旦大学
复旦大学在光刻技术方面同样具有较高的声誉。
电子科技大学
电子科技大学在微电子领域表现优秀，涉及光刻系统的设计、检测等方面。
西安交通大学
西安交通大学在光刻技术方面也有一定的研究和贡献。
哈尔滨工业大学
哈尔滨工业大学在光刻机工件台方面表现出色。
南京大学
南京大学在光刻技术领域也有一定的研究和贡献，尤其在光刻胶领域表现突出。
东华大学
东华大学在光刻技术方面同样具有较高的声誉。
这些排名基于各大学在光刻技术领域的科研能力、实验室实力以及学术声誉。建议进一步查阅各大学的官方网站或相关学术机构的评估报告，以获取更全面的了解。