在光刻机领域，中国的一些顶尖大学及其相关实验室和研究团队具有显著的研究能力和国际影响力。以下是一些在光刻机技术方面表现突出的大学：
清华大学
清华大学在光刻机领域取得了一系列重要突破，如高分辨率光刻技术和多重曝光技术。
拥有高水平的科研团队，并与国内外知名企业合作，推动光刻机技术研发。
北京大学
电子科学与技术专业在全国高校中排名前五，并入选世界一流学科。
在光刻机工件台方面表现出色。
华中科技大学
拥有光电类最强的实验室，如国家光电实验室，以及多个国家重点实验室和工程实验室。
周围有许多光电企业，有利于学生就业和创业。
复旦大学
微电子学与固体电子学是地方一级重点学科，芯片研发能力全国顶尖。
上海交通大学
在光刻机领域也有一定的研究和开发活动。
浙江大学
流体动力与机电系统国家重点实验室负责光刻机浸液系统的研发。
南京大学
微电子专业也具有较高的声誉。
哈尔滨工业大学
在光刻机工件台方面表现出色。
电子科技大学
在光刻机技术方面也有一定的研究。
西安交通大学
在光刻机技术方面也有一定的研究。
这些大学在光刻机技术方面的研究不仅推动了学术界的进步，也为相关产业的发展提供了强有力的支持。