监理工程师设备付款通常遵循以下步骤和比例：
确认合同：
监理工程师需要核实设备采购合同的合法性，包括合同金额、设备质量和数量等。
设备验收：
对采购的设备进行验收，确保其质量和数量符合合同要求。
编制支付申请：
根据合同金额和验收结果，监理工程师编制设备采购支付申请。
提交申请：
将支付申请提交给业主或业主代表进行审核和批准。
支付款项：
经过审核和批准后，监理工程师将款项支付给施工方。
设备付款比例通常为工程总价的10%至20%左右，但具体比例应根据工程的设备数量、规模、质量等因素综合考虑，并在合同中明确约定。
此外，根据国家规定，监理工程师设备保证金应由业主和监理单位双方协商确定，金额不低于监理工程师所用设备总价值的10%，并由业主支付，不能从监理工程师薪资中扣除。
请根据具体项目情况和合同条款进行操作，确保设备付款的合法性和准确性