故障分析是安全工程师在处理系统故障时采用的一种系统性方法。以下是一个故障分析的基本流程：
熟悉系统
详细了解系统的状态及各种参数。
绘出工艺流程图或布置图。
调查事故
收集事故案例，进行事故统计。
设想给定系统可能发生的事故。
确定顶上事件
分析的对象事件即为顶上事件。
对所调查的事故进行全面分析，找出后果严重且较易发生的事故作为顶上事件。
确定目标值
根据经验和事故案例，经统计分析后，求解事故发生的概率（频率），作为要控制的事故目标值。
调查原因事件
调查与事故有关的所有原因事件和各种因素。
画出故障树
从顶上事件起，一级一级找出直接原因事件，到所要分析的深度，按其逻辑关系，画出故障树。
定性分析
按故障树结构进行简化，确定各基本事件的结构重要度。
确定事故发生概率
确定所有事件发生概率，标在故障树上，进而求出顶上事件的发生概率。
比较分析
比较可维修系统和不可维修系统，前者要进行对比分析，后者求出顶上事件发生概率即可。
通过这一流程，安全工程师可以系统地识别和分析系统中的潜在故障点，评估其可能导致的后果，并制定相应的预防和控制措施，以提高系统的整体安全性。