当监理工程师对施工质量、材料、设备或工艺等有怀疑时，应当采取以下措施：
及时与施工方沟通：
首先，监理工程师应及时与施工方进行沟通，明确表达质量问题的疑虑，并要求施工方提供相应的解释和证据。
收集证据：
监理工程师应收集相关证据，包括施工记录、材料合格证明、检测报告等，以便进行进一步的分析和判定。
进行复测：
在收集到足够证据后，监理工程师应进行复测，以验证施工质量是否符合设计要求和规范标准。
填写“监理抽查记录”：
若监理工程师对某项施工质量或材料、设备、工艺等有怀疑，可以随时进行抽检，并详细填写“监理抽查记录”。
报告给上级部门：
如果经过复测后，问题仍然严重，监理工程师应向上级部门报告，以便采取更高级别的措施。
保持专业态度：
在整个过程中，监理工程师应保持专业的态度，确保工程质量符合要求，避免因个人疑虑影响工程的整体质量。
通过以上步骤，监理工程师可以有效处理对质量的怀疑，确保工程质量和进度符合预期。