子女境外留学可以按照以下步骤进行个人所得税专项附加扣除：
留存相关佐证资料
纳税人应留存境外学校录取通知书、留学签证等境外教育佐证资料，以备查验。
扣除标准
纳税人的子女接受全日制学历教育的相关支出，按照每个子女每月1000元的标准定额扣除。
扣除方式
父母可以选择由其中一方按扣除标准的100%扣除，也可以选择由双方分别按扣除标准的50%扣除。具体扣除方式在一个纳税年度内不能变更。
适用条件
子女必须是在国外接受长期（一年以上）全日制学习，并且出生并被认定为中国纳税人。
总结起来，子女境外留学可以按照每个子女每月1000元的标准定额扣除，父母可以选择扣除方式，并且需要留存相关佐证资料。具体扣除方式在一个纳税年度内不能变更。