中山市的留学补贴申请程序如下：
个人申请
准备材料
《个人申请使用中山市留学人员和外国籍人才专项资金审批表》一式三份；
本人护照或其他有效身份证明；
学历、学位证书及国家教育部认证的学历、学位材料；
《广东省居住证》或《外国专家证》；
社会保险缴费凭证；
与用人单位签订的劳动合同；
其他相关证明材料。
提交申请
将上述材料提交至市留学人员和外国籍人才工作站。
审批流程
个人申请经市人事局批准后，签订《中山市留学人员和外国籍人才专项资金使用协议书》，明确权利义务；
资金将按协议发放。
单位申请
准备材料
《单位申请使用中山市留学人员和外国籍人才专项资金审批表》一式三份；
留学人员和外国籍人才新注册创办高新技术企业的相关证明文件；
创业补贴或贷款贴息补贴的相关材料。
提交申请
将上述材料提交至市留学人员和外国籍人才工作站。
审批流程
单位申请经市人事局批准后，签订相关协议；
根据政策规定，单位可申请一次性创业补贴或贷款贴息补贴。
请确保按照最新的政策文件进行申请，因为政策可能会有更新。